开放式光栅
封闭式光栅
激光干涉测量
磁编码器
刻划精度达到±0.38角秒，栅距20µm/40µm，圆光栅直径52～550 mm，读数头兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS、QUANTiC；REXM20/REXT20圆光栅，安装精度最高达±1角秒（双读数头），栅距20µm，圆光栅直径52～417mm，读数头兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV。
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